多晶硅微波干燥設(shè)備,，廣泛適用半導(dǎo)體多晶硅干燥,。

多晶硅，是單質(zhì)硅的一種形態(tài),。熔融的單質(zhì)硅在過冷條件下凝固時,，硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核，如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒,，則這些晶粒結(jié)合起來,，就結(jié)晶成多晶硅。利用價值:從目前國際太陽電池的發(fā)展過程可以看出其發(fā)展趨勢為單晶硅,、多晶硅,、帶狀硅,、薄膜材料(包括微晶硅基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜)

1,、油脂：在多晶硅生產(chǎn)過程中,，油分子對多晶硅的危害十分嚴(yán)重。實(shí)際證明,，整個工藝系統(tǒng)幾ppm的油含量就可能造成多晶硅反應(yīng)速度減慢,，產(chǎn)量降低，甚至硅反應(yīng)停止,。因此,，多晶硅設(shè)備的脫脂工藝尤為重要。

2,、水分：水中含有大量的氯離子,，氯離子對多晶硅的反應(yīng)十分敏感。設(shè)備及系統(tǒng)干燥工藝很關(guān)鍵,。

3,、氯離子殘留：水和其他溶液在設(shè)備表面殘留的氯離子對多晶硅影響十分大。因此,，在清洗后對設(shè)備進(jìn)行純水沖洗工藝十分重要,。

4、氧化物,、灰塵其他雜質(zhì)：其他污垢的存在,，對多晶硅的生產(chǎn)影響也很大。因此,，在設(shè)備清洗過程中,，采用酸洗工藝對其他污垢進(jìn)行清洗十分必要。

多晶硅加工生產(chǎn)中,，關(guān)見的是用純水清洗,，干燥。恰恰微波設(shè)備能滿足要求,，加熱速度快,，脫水快?？梢蕴岣咝?，是電加熱干燥的幾十倍，沒有二次污染,，可以保證多晶硅的純度，有利于后續(xù)加工質(zhì)量保證,。微波干燥設(shè)備為了滿足多晶硅高溫干燥,，輸送帶選用了耐1000度高溫的材料,，保證了干燥順利完成。
微波干燥設(shè)備整體外形結(jié)構(gòu)緊湊,、美觀,、流暢，占地面積小,。針對該物料的物理特性,，設(shè)計合理的箱體尺寸，使加熱器內(nèi)微波功率密度均勻,，微波自上而下寬帶饋入,，使物料加熱更加均勻。采用全新的微波烘干技術(shù)與設(shè)備,。能夠?qū)崿F(xiàn)物料的無污染和均勻干燥,，同時可大幅降低干燥溫度，此外干燥速度通常提高數(shù)倍以上,，生產(chǎn)效率大幅提高,，干燥能耗通常降低50%以上，終實(shí)現(xiàn)安全潔凈高效生產(chǎn),。

微波干燥特點(diǎn)和機(jī)理不同于一般的干燥技術(shù),，概括起來有以下特點(diǎn)：

1) 微波干燥過程中的干燥層首先在物料內(nèi)部形成， 然后由里層向外擴(kuò)展,。原因是物料在微波條件下內(nèi)外同時受熱,，內(nèi)部溫度高于外部，水蒸氣由內(nèi)向表層排出,，物料內(nèi)部先形成干燥層,；常規(guī)加熱容易在物料外部先形成一層干燥硬殼， 這不僅會影響物料的品質(zhì)和外觀,，還會降低干燥速度,。而微波干燥從根本上避免了以上情況的發(fā)生。

2) 微波干燥節(jié)能,。用遠(yuǎn)紅外線和蒸汽能源進(jìn)行干燥,，其能源利用率不足50%，而用微波作為能源的利用率可達(dá)75%以上,，比遠(yuǎn)紅外和蒸氣干燥能耗降低25%以上,。

采用;獨(dú)有的微波源及其控制技術(shù)，確保微波源系統(tǒng)在各種復(fù)雜環(huán)境下長期連續(xù)穩(wěn)定工作,，其中磁控管的正常使用壽命≥1年,；

采用按標(biāo)準(zhǔn)特制的高效微波傳輸系統(tǒng)，對物料進(jìn)行均勻饋能,，確保物料干燥均勻,，有效避免物料局部溫度過高的現(xiàn)象,；

采用獨(dú)創(chuàng)的數(shù)理模型，結(jié)合干燥工藝要求進(jìn)行科學(xué)的腔體設(shè)計,，確保脫水效率,，同時避

免腔體內(nèi)“熱點(diǎn)”、“打火”,、“濺料”,、“燒帶”等不良現(xiàn)象的發(fā)生；

主要性能及技術(shù)參數(shù)

根據(jù)客戶需要量身訂制;

控制傳輸帶工作溫度≤200oC;

微波頻率:2.45GHz±25MHz;

觸摸屏顯示,、控制,，具自動、手動雙重操作功能;

采用紅外濕度測量儀,，對加熱箱內(nèi)部溫,、濕度進(jìn)行測定，并實(shí)現(xiàn)全程控制;

微波泄漏量:<2mw>

1,、 輸入電源：三相五線380V±10% 50Hz±1%
2,、微波輸出功率：48kW（可調(diào)）
3、微波頻率：2450MHz±50Hz
4,、額定輸入視在功率：≤69kVA
5,、進(jìn)出料口高度：50mm
6、傳輸帶寬度：500mm
7,、傳輸速度：0.1～5m/min
8,、外形尺寸（長×寬×高）：約12700×665×1668mm
9、工作環(huán)境：0～40℃,、相對濕度≤80%
10,、微波箱體數(shù)量：8個箱體
11、符合GB 10436-1989作業(yè)場所微波輻射衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)
13,、符合GB/5226.1-2002機(jī)械安全 機(jī)械電氣設(shè)備

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